[发明专利]一种PERC电池、其AlOx镀膜工艺、多层AlOx背钝化结构及方法在审

专利信息
申请号: 202110345985.1 申请日: 2021-03-31
公开(公告)号: CN113097341A 公开(公告)日: 2021-07-09
发明(设计)人: 黄智;张林;张鹏;杨东;徐涛;翟绪锦;谢泰宏;萧圣义 申请(专利权)人: 通威太阳能(安徽)有限公司;通威太阳能(金堂)有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/02;H01L21/324;H01L31/0216
代理公司: 安徽知问律师事务所 34134 代理人: 平静;王泽洋
地址: 230000 安徽省合*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种PERC电池、其AlOx镀膜工艺、多层AlOx背钝化结构及方法,属于PERC电池制备技术领域。本发明将经过热氧化退火后的硅片置入管式PECVD设备中,制备AlOx多层/渐变钝化膜,其中,底层AlOx膜采用低功率和低脉冲开关比工艺条件,且底层AlOx膜和中层AlOx膜采用低沉积速率和高氧含量的工艺条件,顶层AlOx膜采用高沉积速率工艺条件。本发明底层和中层通过低沉积速率和高氧含量的工艺条件,降低对硅片表面氧化硅的破坏,提升背面钝化层的表面化学钝化效果;同时增加了AlOx的负电荷密度,提高了背面钝化层的场钝化效果。另外,外层采用高沉积速率工艺,确保整体工艺时间不受影响。通过本发明提供的技术路线制备的PERC电池片,转换效率可以提升0.05‑0.08%。
搜索关键词: 一种 perc 电池 alox 镀膜 工艺 多层 钝化 结构 方法
【主权项】:
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