[发明专利]一种PERC电池、其AlOx镀膜工艺、多层AlOx背钝化结构及方法在审
申请号: | 202110345985.1 | 申请日: | 2021-03-31 |
公开(公告)号: | CN113097341A | 公开(公告)日: | 2021-07-09 |
发明(设计)人: | 黄智;张林;张鹏;杨东;徐涛;翟绪锦;谢泰宏;萧圣义 | 申请(专利权)人: | 通威太阳能(安徽)有限公司;通威太阳能(金堂)有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/02;H01L21/324;H01L31/0216 |
代理公司: | 安徽知问律师事务所 34134 | 代理人: | 平静;王泽洋 |
地址: | 230000 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种PERC电池、其AlOx镀膜工艺、多层AlOx背钝化结构及方法,属于PERC电池制备技术领域。本发明将经过热氧化退火后的硅片置入管式PECVD设备中,制备AlOx多层/渐变钝化膜,其中,底层AlOx膜采用低功率和低脉冲开关比工艺条件,且底层AlOx膜和中层AlOx膜采用低沉积速率和高氧含量的工艺条件,顶层AlOx膜采用高沉积速率工艺条件。本发明底层和中层通过低沉积速率和高氧含量的工艺条件,降低对硅片表面氧化硅的破坏,提升背面钝化层的表面化学钝化效果;同时增加了AlOx的负电荷密度,提高了背面钝化层的场钝化效果。另外,外层采用高沉积速率工艺,确保整体工艺时间不受影响。通过本发明提供的技术路线制备的PERC电池片,转换效率可以提升0.05‑0.08%。 | ||
搜索关键词: | 一种 perc 电池 alox 镀膜 工艺 多层 钝化 结构 方法 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
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