[发明专利]一种气体泄漏检测装置及检测方法

摘要

本发明提供一种气体泄漏检测装置，包括光源、光学劈尖、图像处理单元、用于遮挡外部干扰光的暗室和用于密封待检测部的密闭腔；所述密闭腔对应待检测部开设有检测孔；所述光学劈尖置于暗室内，并覆盖于所述检测孔上；所述光学劈尖中填充有弹性材料，所述弹性材料能够在气体泄漏时发生形变；所述光学劈尖能够使光源发射的光信号发生等厚干涉，并将等厚干涉图像反射至图像处理单元，所述图像处理单元能够根据所接收的等厚干涉图像判断气体泄漏情况。本发明还提供了一种气体泄漏检测装置的检测方法。本气体泄漏检测装置及检测方法基于等厚干涉，能检测出来的形变是光波长数量级，所以微小的泄漏造成的形变也能精确的检测出来。