[发明专利]机械手归位方法及半导体热处理设备在审
| 申请号： | 202110349238.5 | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN113103231A | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 王凯;甄瑞杰 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/16 | 分类号： | B25J9/16;H01L21/67;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种半导体热处理设备中机械手的归位方法及半导体热处理设备。该方法包括以下步骤：S1，根据机械手的当前位置信息和预先定义的各个工位的危险区域，判断机械手是否位于任一工位的危险区域中；若是，则进行步骤S2；若否，则进行步骤S3；S2，检测机械手的当前承载状态，并根据当前承载状态，采用预设的与当前承载状态对应的安全归位方式控制机械手返回初始位置；S3，采用预设的正常归位方式控制机械手返回初始位置。应用本发明，可以使机械手能够安全地进行回初始位置操作，从而在保证安全的前提下，提升机台的维护效率。 | ||
| 搜索关键词： | 机械手 归位 方法 半导体 热处理 设备 | ||
【主权项】：
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