[发明专利]一种磁记录用钛铬合金溅射靶材的制备方法在审
| 申请号： | 202110349467.7 | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN113088900A | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;曹欢欢 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C14/00;C22C27/06 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种磁记录用钛铬合金溅射靶材的制备方法，所述制备方法包括：将铬粉以及钛粉在保护气体下进行混合，得到混合粉末；将混合后的粉末装入模具进行脱气处理，脱气后进行热等静压处理，得到所述钛铬合金溅射靶材。所述制备方法制备出的铬钛靶材致密度在99％以上，同时晶粒尺寸细小，成分均匀，机加工性能优异的合金靶材，且此工艺可有效保障产品不受外界氧化，保证产品纯度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 记录 用钛铬 合金 溅射 制备 方法 | ||
【主权项】：
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