[发明专利]一种镍铬合金溅射靶材及其热压制备方法有效
| 申请号： | 202110349671.9 | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN113088909B | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;黄东长 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;B22F3/14;B22F3/24;C22C19/05;C22C27/06;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种镍铬合金溅射靶材及其热压制备方法，包括如下步骤：(1)准备Cr含量为30～80wt％的镍铬合金粉，装入模具并封口；(2)将封口后的模具进行热压烧结处理；(3)将得到的镍铬合金烧结体进行机加工，得到镍铬合金溅射靶材。本发明所述热压制备方法采用热压烧结工艺，不仅可以制备得到致密度≥99％、晶粒尺寸细小、内部结构均匀的高铬含量的镍铬合金溅射靶材，还可以保证镍铬合金溅射靶材的磁通量≥99％，符合半导体等高精端产业的溅射要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金 溅射 及其 热压 制备 方法 | ||
【主权项】：
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