[发明专利]一种抑制介质材料二次电子发射系数的方法在审

专利信息
申请号: 202110350644.3 申请日: 2021-03-31
公开(公告)号: CN113072393A 公开(公告)日: 2021-07-06
发明(设计)人: 向锋;洪小飞;顾腾;刘潇帅;董亦鹏 申请(专利权)人: 西安交通大学
主分类号: C04B41/80 分类号: C04B41/80;C04B35/10;C04B35/462;C04B35/465;C04B35/50;G01N23/2202;G01N23/2251;G01N27/04;G01N27/22
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 王艾华
地址: 710049 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种抑制介质材料二次电子发射系数的方法,该方法选用陶瓷样品及聚合物样品作为研究对象,利用γ射线对样品进行辐照处理。经实验证实,随着辐照剂量的增大,介质材料的电阻率降低,二次电子发射系数的最大值也随之降低,从一定程度上抑制介质材料的二次电子发射系数。相比于表面腐蚀、光刻以及化学方法等工艺来降低二次电子发射系数,通过辐照来抑制介质材料二次电子发射系数的方法更具有普适性,工艺简单,成本小,操作简便等优点。
搜索关键词: 一种 抑制 介质 材料 二次电子 发射 系数 方法
【主权项】:
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