[发明专利]测量系统、测量方法及曝光装置在审
| 申请号： | 202110353528.7 | 申请日： | 2015-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN113093484A | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 上田哲宽 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20;H01L21/68;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟;闫剑平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 移动体的控制方法，包含：使能够在XY平面内移动的移动体(22)沿Y轴方向移动，同时一边使从标记检测系统(50)照射的测量束相对于载置于该移动体(22)的晶圆(W)上设置的多个格子标记的中的一部分格子标记沿Y轴方向扫描，一边检测该一部分格子标记的工序；测量在一部分格子标记上的测量束的照射位置的工序；以及基于照射位置的测量结果使测量束和移动体(22)在X轴方向相对移动，并且一边使测量光沿Y轴方向扫描一边检测其它格子标记的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 系统 测量方法 曝光 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社尼康，未经株式会社尼康许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110353528.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种留置导管用保护装置
- 下一篇：一种用于辅助排痰的治疗头
