[发明专利]一种基于向量乱流法的化学蚀刻装置及方法有效
| 申请号： | 202110354180.3 | 申请日： | 2021-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN112739041B | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 凤培国 | 申请（专利权）人： | 武汉宏乔科技有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/06 | 分类号： | H05K3/06 |
| 代理公司： | 武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242 | 代理人： | 谢洋 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于向量乱流法的化学蚀刻装置及方法，本发明通过增加导流板，控制蚀刻液在蚀刻区产生方向性向量乱流，包括涡流、空泡、动能层流和动能微流体；乱流最大的特性是具有流体扩散性和能量传导,在向量压力下可以深入微孔及细线路，解决现有技术中由于蚀刻深沟效应而无法蚀刻微孔和细线路中金属的问题，大幅度提升了蚀刻精度；本发明同时解决了水池效应和大面积线路板蚀刻不均的问题，因此增加良品率，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 向量 乱流 化学 蚀刻 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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