[发明专利]基于MEMS微型气室的原级温度计及其测量方法有效
| 申请号： | 202110355213.6 | 申请日： | 2021-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN113091944B | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 潘奕捷;贾朔;蒋志远;刘小赤;屈继峰 | 申请（专利权）人： | 中国计量科学研究院 |
| 主分类号： | G01K11/32 | 分类号： | G01K11/32 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 樊春燕 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种基于MEMS微型气室的原级温度计及其测量方法。基于MEMS微型气室的原级温度计包括激光输出模块、微型气室、反射结构、光电探测模块以及温度计算模块。激光输出模块用于控制输出入射光。微型气室设置于入射光的光路上。硅结构设置于第一层玻璃与第二层玻璃之间。入射光入射至第一层玻璃，并经过通孔入射至第二层玻璃。反射结构设置于第二层玻璃远离硅结构的表面，用于将经第二层玻璃的入射光进行反射，形成反射光。光电探测模块设置于反射光的光路上，用于对反射光进行探测，并将反射光的光信号转换成电信号。温度计算模块与光电探测模块电连接，用于获取电信号，并根据电信号计算温度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 mems 微型 温度计 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
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