[发明专利]一种新型纳米压印设备及其压印方法有效

专利信息
申请号: 202110357714.8 申请日: 2021-04-01
公开(公告)号: CN113075861B 公开(公告)日: 2023-09-19
发明(设计)人: 冀然 申请(专利权)人: 青岛天仁微纳科技有限责任公司
主分类号: G03F7/00 分类号: G03F7/00;G03F7/20;G03F7/16
代理公司: 山东重诺律师事务所 37228 代理人: 王鹏里
地址: 266000 山东省青岛市城阳区城*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明提出一种新型纳米压印设备,包括:吸盘,支撑装置,其设置有两个,分别位于吸盘的左侧及右侧;滴胶装置,其位于左侧支撑装置与吸盘之间;涂布装置,具有可伸缩的涂布块,通过涂布块的伸缩涂布胶液;固定装置,用于固定PET;压印曝光装置,具有可伸缩的压印头,并向第二固定装置的方向伸缩,压印头上具有透光区以及与透光区对应的紫外灯;胶液回收装置,收集压印溢出的废胶液。一种新型纳米压印设备的压印方法,包括以下步骤:S1:上料;S2:点胶;S3:涂布及废胶液回收;S4:压印;S5:脱模。本发明不仅能够自动点胶、涂布、压印曝光以及脱模,无需人工干预,且压印过程中产生无气泡产生,自动化程度高。
搜索关键词: 一种 新型 纳米 压印 设备 及其 方法
【主权项】:
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