[发明专利]混合集成型片上光频梳及其制备方法

摘要

本发明公开了一种混合集成型片上光频梳，包括依次相邻的硅基底、二氧化硅衬底和薄膜铌酸锂，薄膜铌酸锂上异质集成一层氮化硅波导；氮化硅波导包括横跨薄膜铌酸锂上表面的氮化硅直波导，以及位于氮化硅直波导一侧的氮化硅微环；氮化硅微环下方的薄膜铌酸锂为圆周极化薄膜铌酸锂。本发明的片上光频梳结合了周期极化铌酸锂与氮化硅波导的优良特性，避免了直接刻蚀铌酸锂的工艺要求，能够利用铌酸锂的高效非线性，简化工艺的同时保证了器件效能；圆周极化薄膜铌酸锂引入的准相位匹配与氮化硅波导的尺寸设计引入的色散波匹配技术相结合，使得对泵浦波的频率要求突破了单频率的限制，实现可调谐自由光谱范围的微环。