[发明专利]动态气体锁的测试装置及应用其测试的方法在审
| 申请号： | 202110363094.9 | 申请日： | 2021-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN113281463A | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 王魁波;吴晓斌;谢婉露;罗艳;沙鹏飞;韩晓泉;李慧 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 郎志涛 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及极紫外光刻技术领域，具体涉及一种动态气体锁的测试装置及应用其测试的方法，该动态气体锁的测试装置包括：真空腔室系统、清洁气体系统，污染气体系统，气体分析系统，抽真空泵组和控制器；通过控制器控制动态气体锁向低清洁腔室和高清洁腔室内通入清洁气体，并向低清洁腔室通入污染气体，能够模拟气体锁在使用时的状态，再根据气体分析系统测试出动态气体锁对低清洁腔室内的污染气体的抑制效果，以便全面测试和评估动态气体锁性能。 | ||
| 搜索关键词： | 动态 气体 测试 装置 应用 方法 | ||
【主权项】：
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