[发明专利]一种DLC类金刚石涂层及制备方法在审
| 申请号： | 202110364450.9 | 申请日： | 2021-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN113278920A | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 韩秀全;李军明 | 申请（专利权）人： | 英麦盾纳米材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34 |
| 代理公司： | 山东重诺律师事务所 37228 | 代理人： | 任启明 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市高新区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及涂层材料技术领域，具体涉及一种DLC类金刚石涂层及制备方法；包括基体，覆在基体上的TiN底层和覆在TiN底层上的TiCN过渡层，以及覆在TiCN过渡层上的TiAlCN涂层；本发明所制备的DLC类金刚石涂层不仅具有很好的结合力，而且还具有很好的内应力、耐磨性和硬度；使得所制备的DLC类金刚石涂层的品质得到有效地提高与改善。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 dlc 金刚石 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
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