[发明专利]铁电电容器结构及其制备方法在审
| 申请号： | 202110364798.8 | 申请日： | 2021-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN115188742A | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 罗庆;陈煜婷 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H01L23/64 | 分类号： | H01L23/64;H01L49/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周天宇 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种铁电电容器结构，包括：衬底层(1)，以及依次叠设于所述衬底层(1)上的缓冲层(2)、第一电极(3)、介质层(4)和第二电极(5)，所述衬底层(1)为柔性衬底，所述介质层为HfO |
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| 搜索关键词： | 电容器 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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