[发明专利]散热芯片及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202110364825.1 申请日: 2021-04-06
公开(公告)号: CN112736050B 公开(公告)日: 2021-07-30
发明(设计)人: 张鹏;默蓬勃;伊波力;郭双江 申请(专利权)人: 曙光数据基础设施创新技术(北京)股份有限公司
主分类号: H01L23/42 分类号: H01L23/42;G06F1/20
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 董艳芳
地址: 100082 北京市海淀*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供了一种散热芯片及其制备方法,涉及超级计算机技术领域,该散热芯片包括芯片基体层和微纳散热结构层,微纳散热结构层形成于芯片基体层的表面。该散热芯片中的微纳散热结构层,既增加了芯片表面的散热面积,又改变了芯片表面的粗糙程度,从而强化了散热效果,因此提高了芯片的散热性能。
搜索关键词: 散热 芯片 及其 制备 方法
【主权项】:
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