[发明专利]真空搬运装置及搬运方法有效
| 申请号： | 202110366863.0 | 申请日： | 2021-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN112960371B | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 段廷原;张铢仓 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/248 | 分类号： | B65G47/248;B65G47/90 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 裴磊磊 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供一种真空搬运装置及搬运方法，搬运装置包括传送机构以及承载机构，承载机构包括第一吸附构件、第二吸附构件以及供电装置，第一吸附构件与第二吸附构件相对设置，供电装置设置在第一吸附构件和第二吸附构件之间，供电装置用于为第一吸附构件和第二吸附构件提供吸附力，且承载机构可相对传送机构进行翻转，通过吸附构件的吸附面对转移的基板进行吸附，从而防止了基板的下垂问题，同时有效的提高了搬运的效率并简化了生产工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 搬运 装置 方法 | ||
【主权项】：
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