[发明专利]MEMS器件的ESD保护系统在审
| 申请号： | 202110373346.6 | 申请日： | 2021-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN113104803A | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 大卫·莫林诺·吉尔斯 | 申请（专利权）人： | 瑞声科技（南京）有限公司;瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81B7/00 |
| 代理公司： | 深圳紫辰知识产权代理有限公司 44602 | 代理人： | 万鹏 |
| 地址： | 210046 江苏省南京市栖霞区仙林*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS器件的ESD保护系统，其包括控制电路、电性连接所述控制电路的MEMS器件以及电性连接控制电路且与MEMS器件并联的ESD保护装置，ESD保护装置包括电性连接控制电路的上电极组件、具有悬臂弹性的悬臂以及下电极组件，悬臂包括电性连接所述控制电路的第一电极层、电性连接MEMS器件的第二电极层以及电性连接第二电极层的可动金属触点，下电极组件包括电性连接MEMS器件的下电极层、电性连接下电极层且与可动金属触点相对的固定金属触点。本发明MEMS器件的ESD保护系统的ESD保护装置能够比MEMS器件提前对ESD事件反应且耗散静电放电电压，从而有效的保护MEMS器件。 | ||
| 搜索关键词： | mems 器件 esd 保护 系统 | ||
【主权项】：
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