[发明专利]一种镀膜材料及其制备方法与应用在审

专利信息
申请号: 202110373584.7 申请日: 2021-04-07
公开(公告)号: CN113200569A 公开(公告)日: 2021-08-03
发明(设计)人: 徐川;陈牧;王乃成;王胜利 申请(专利权)人: 巨玻固能(苏州)薄膜材料有限公司
主分类号: C01G35/00 分类号: C01G35/00;C23C14/08;C23C14/30
代理公司: 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 代理人: 徐凯凯
地址: 215126 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种镀膜材料及其制备方法与应用,包括:所述镀膜材料的化学组成中包括Ta2O5‑x相的氧化钽,其中,0.1<x1.5。本发明的镀膜材料在真空蒸发过程中可以减少由于Ta2O5材料分解放气导致的喷溅,提高薄膜光洁度,降低滤光片的废品率,同时可以简化电子束蒸发蒸镀中的预融过程,缩短镀膜加工时间,降低镀膜加工成本,通过所述镀膜材料可以设计出更高性能的滤光片,用于5G以至更高带宽的光学器件,对未来光通信专用滤光片的发展有重大意义。
搜索关键词: 一种 镀膜 材料 及其 制备 方法 应用
【主权项】:
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