[发明专利]具有特殊支撑衬底射频谐振器及其制备方法在审
| 申请号： | 202110373825.8 | 申请日： | 2021-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN113193845A | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 孙成亮;范宇晨;周杰;龙开祥;王瑶;温志伟 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/05 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 肖明洲 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有特殊支撑衬底射频谐振器及其制备方法，该射频谐振器包括带有特殊形貌空腔的衬底、上下电极层和电极层之间的压电层。谐振器上下电极和压电层的工作区域悬浮于凹坑上方。在制备凹坑时保留锚结构和汇流排下方的衬底材料，可以有效增强谐振器的稳定性和可靠性，避免谐振器加工过程中发生翘曲、在工作过程中发生断裂的现象。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 特殊 支撑 衬底 射频 谐振器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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