[发明专利]一种标定块、缺陷检测装置及缺陷检测方法在审
| 申请号： | 202110374175.9 | 申请日： | 2021-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN113109354A | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 崔国栋 | 申请（专利权）人： | 上海御微半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种标定块、缺陷检测装置及缺陷检测方法。其中，标定块包括沿第一方向排布的N个台阶部，沿第二方向，N个台阶部的高度各不相同，其中，第一方向垂直于第二方向，N≥2且N为整数，台阶部包括垂直于第二方向的顶面，顶面设置有分辨率测试图案。本发明提供的标定块、缺陷检测装置及缺陷检测方法，通过设置高度各不相同的N个台阶部，且每个台阶部的顶面均设置有分辨率测试图案，使得缺陷检测装置的图像采集模块与标定块处于相对静止的状态下即可获取不同高度平面内的分辨率测试图案的图像，实现对图像采集模块的焦深和最佳焦面的标定，无需再令图像采集模块进行垂向运动，操作简单，且不会耦合进垂向运动的误差，提高了标定的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 标定 缺陷 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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