[发明专利]一种热气流加热固定的电喷印装置及方法有效
申请号: | 202110374822.6 | 申请日: | 2021-04-04 |
公开(公告)号: | CN113352600B | 公开(公告)日: | 2023-03-28 |
发明(设计)人: | 任鑫磊;李凯;吴勇;高馨兰;叶佳雯;叶超然;王晓英 | 申请(专利权)人: | 宁波大学 |
主分类号: | B29C64/112 | 分类号: | B29C64/112;B29C64/295;B29C64/364;B33Y10/00;B33Y30/00;B33Y40/00;H01L31/18 |
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地址: | 315211 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明属于先进制造技术领域,涉及一种热气流加热固定的电喷印装置及方法,包括喷印模块、控制模块、视觉检测模块、温控模块四个部分。所述的流体喷印模块实现功能墨水以一定的流速流出喷头喷孔;所述控制模块是通过上位机对喷头夹具的位置控制,实现喷头按照预先规划路线动作;所述视觉检测模块由工业相机和红外光源构成,实现对喷印过程的实时监控;所述温控模块实现喷印过程中对微纳功能结构的加热固化。本发明的有益效果为装置简单,所设计的加热装置为热气流加热,衬底受热均匀,优化了微纳功能结构,提高了高性能纳米器件使用性能和使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 一种 气流 加热 固定 电喷 装置 方法 | ||
【主权项】:
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