[发明专利]面曝光光斑光强匀化方法及其应用有效
申请号: | 202110377589.7 | 申请日: | 2021-04-08 |
公开(公告)号: | CN113096040B | 公开(公告)日: | 2022-06-03 |
发明(设计)人: | 王晨光;沈显峰;王国伟;秦煜;杨家林;张文康;王开甲;朱京玺;黄姝珂 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 |
主分类号: | G06T5/00 | 分类号: | G06T5/00;G06V10/28;G02B27/09 |
代理公司: | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人: | 唐邦英 |
地址: | 621000*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了面曝光光斑光强匀化方法及其应用,匀化方法包括以下步骤:S1、在面曝光切片分层软件中对stl模型进行切片处理获得切片图像,并对切片图像进行灰度处理,生成二值灰度图像;S2、生成高斯补偿图像,获得参数可调的高斯晕影,所述参数包括高斯峰值和高斯半径;S3、将步骤S1获得的二值灰度图像与步骤S2获得的高斯晕影进行叠加计算,生成含高斯补偿的切片图案;S4、将含高斯补偿的切片图案加载至液晶空间光调制器驱动设备,开启激光生成并检测面状光斑:如果光斑不符合要求,则修改高斯晕影的参数,重复步骤S2‑S4,直至光斑符合要求。本发明解决了金属面曝光增材制造过程中光斑光强不均匀的问题。 | ||
搜索关键词: | 曝光 光斑 光强匀化 方法 及其 应用 | ||
【主权项】:
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