[发明专利]一种真空探针台在审
| 申请号： | 202110378526.3 | 申请日： | 2021-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN112964975A | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 陆冰彬 | 申请（专利权）人： | 英铂科学仪器（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/073;G01R1/04;G01N21/84;G01N33/00 |
| 代理公司： | 成都顶峰专利事务所(普通合伙) 51224 | 代理人： | 戚红 |
| 地址： | 200000 上海市松江区石湖*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体测试技术领域，公开了一种真空探针台，包括安装台和设置在安装台上的底板，所述安装台上设有有毒气体检测装置，所述底板上设有真空腔体、探针座和显微镜安装调节架，所述探针座围绕真空腔体周向设有多个，所述显微镜安装调节架上设有显微镜；本发明提供的一种真空探针台，解决了现有探针台的真空腔存在升温速度慢，对半导体器件的测试效率低以及无法对检测环境的有毒气体进行检测的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 探针 | ||
【主权项】：
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