[发明专利]放射线敏感性组合物的处理方法在审
| 申请号： | 202110380337.X | 申请日： | 2021-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN113515024A | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 浅冈高英;新木利治;藤井总一郎;吉田知识 | 申请（专利权）人： | JSR株式会社;优志旺电机株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26;G03F7/40 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 王灵菇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种即使使用LED光源，也能够对放射线敏感性组合物赋予高的透射性、抑制气泡的产生的放射线敏感性组合物的处理方法。本发明的放射线敏感性组合物的处理方法的特征在于，放射线敏感性组合物具有：作为具有酸基的自由基聚合性化合物(a)、具有环氧基的自由基聚合性化合物(b)、以及其他自由基聚合性化合物(c)的共聚物的可溶于碱水溶液的树脂(A)和放射线敏感性产酸化合物(B)，其中，所述方法包含下述工序(α)：从LED元件对放射线敏感性组合物照射主峰值波长在375nm以上且395nm以下的范围内的紫外线，提高放射线敏感性组合物的透射率。 | ||
| 搜索关键词： | 放射线 敏感性 组合 处理 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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