[发明专利]集成电路外延层扩展电阻测试仪在审
| 申请号： | 202110380476.2 | 申请日： | 2021-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN113049881A | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 赵昭;于利红 | 申请（专利权）人： | 中国电子技术标准化研究院 |
| 主分类号： | G01R27/08 | 分类号： | G01R27/08;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京头头知识产权代理有限公司 11729 | 代理人： | 刘锋 |
| 地址： | 100007 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种集成电路外延层扩展电阻测试仪，属于半导体领域，包括底座，所述底座上设置有气浮减震台，所述气浮减震台上设置有产品调节台和探针调节台，所述产品调节台上设置有样品测量台，所述探针调节台上设置有探针，所述产品调节台包括第一水平滑台和第二水平滑台上，所述第一水平滑台使得所述样品测量台沿着x方向移动，所述第二水平滑台使得所述样品测量台沿着y方向移动，所述探针调节台包括垂直滑台，所述垂直滑台使得所述两个探针沿着z方向移动；所述探针连接有测量电路，所述测量电路包括电压源和电流表。本发明成本低，测量准确度高，测试数据一致性好。 | ||
| 搜索关键词： | 集成电路 外延 扩展 电阻 测试仪 | ||
【主权项】：
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