[发明专利]一种晶体制备系统有效
申请号: | 202110381291.3 | 申请日: | 2021-04-09 |
公开(公告)号: | CN113106539B | 公开(公告)日: | 2022-04-05 |
发明(设计)人: | 王宇;官伟明;梁振兴 | 申请(专利权)人: | 眉山博雅新材料股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/12 | 分类号: | C30B15/12;C30B15/14;C30B15/20 |
代理公司: | 成都七星天知识产权代理有限公司 51253 | 代理人: | 严芳芳 |
地址: | 620010 四川省眉*** | 国省代码: | 四川;51 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本说明书实施例提供一种晶体制备系统,该系统包括:炉体;保温筒,保温筒位于炉体内;埚组件,其中,埚组件位于保温筒内;埚组件至少包括内层埚和外层埚,其中,内层埚与外层埚之间的间隙小于预设间隙值;间隙内填充填充体;电阻加热组件,其中,电阻加热组件包括加热体,加热体包括多个加热单元,多个加热单元形成均匀温度场;多个加热单元环绕设置于埚组件外周;多个加热单元与埚组件之间的距离满足预设条件;保温层,保温层环绕设置于多个加热单元外侧、保温筒顶部和/或埚组件底部。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体 制备 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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