[发明专利]ZMO靶材及其制备方法

摘要

本发明涉及一种ZMO靶材及其制备方法。ZMO靶材的制备方法包括如下步骤：将ZnO粉末、MgO粉末、Al2O3粉末、分散剂、粘接剂和水混合均匀，研磨后得到浆料；将浆料进行喷雾造粒，得到ZMO粉体；将ZMO粉体进行烧结，得到ZMO烧结粉体；在保护气体氛围下，将ZMO烧结粉体热喷涂于背靶上，得到ZMO靶坯；以及将ZMO靶坯进行抛光和加工处理，得到ZMO靶材。上述ZMO靶材的制备方法工艺简单，有利于提高生产效率。经试验证明，本发明的上述ZMO靶材的制备方法制备得到ZMO靶材的相对密度≥90％，ZMO靶材的电阻率≤5×10‑3Ω·cm，因此，通过上述ZMO靶材的制备方法能够得到致密度和导电性良好的高性能ZMO靶材。此外，本发明还涉及一种ZMO靶材的制备方法。