[发明专利]一种具有多角度调节功能的晶元烘烤用冷却装置有效

专利信息
申请号: 202110382006.X 申请日: 2021-04-09
公开(公告)号: CN113203239B 公开(公告)日: 2022-08-16
发明(设计)人: 李双玉 申请(专利权)人: 涌明科技(上海)有限公司
主分类号: F25D17/02 分类号: F25D17/02;F26B25/00;H01L21/67
代理公司: 深圳紫晴专利代理事务所(普通合伙) 44646 代理人: 陈映辉
地址: 201599 上海市金山*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种具有多角度调节功能的晶元烘烤用冷却装置,包括底座,底座的顶部焊接安装有水冷仓,水冷仓的一侧壁位于水冷仓的顶部焊接安装有注水管,水冷仓的另一侧壁位于水冷仓底部焊接安装有泄水管,水冷仓内置放置架,放置架的内侧壁开设有滑槽。该具有多角度调节功能的晶元烘烤用冷却装置,通过设置水冷仓,配合水冷仓内的冷却液能够有效地对其晶元进行快速降温,从而一定程度上缩短了冷却所需时间,同时也大大提高了冷却效率,且装置位于水冷仓的顶部设置有烘干仓,致使装置在对其晶元进行水冷降温后能够直接对其晶元表面的残余水分进行有效的处理,从而避免了因为晶元残余水分而导致的后续工艺的无法进行,大大提高了装置的实用性。
搜索关键词: 一种 具有 角度 调节 功能 烘烤 冷却 装置
【主权项】:
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