[发明专利]一种获取多维物性的扫描探针显微成像方法及装置在审
| 申请号： | 202110382753.3 | 申请日： | 2021-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN113109342A | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 黄博远;李江宇 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 潘登 |
| 地址： | 518055 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种获取多维物性的扫描探针显微成像方法及装置。一种获取多维物性的扫描探针显微成像方法包括：将至少两个子波形按预设拼接顺序合成激励信号，两个子波形具有不同特性参数；通过扫描探针依次将激励信号施加至待测目标的多个像素点以获得每个像素点对应的测试结果信号；根据测试结果信号和拼接顺序生成待测目标的测试结果，测试结果对应不同特性参数。解决目标样品的多种属性需要进行多次测试导致的敏感样品的退化或多次侵入性扫描造成的样品损坏的问题，实现一次扫描获得多维物性测试结果数据，提高扫描效率，提升测试结果数据的分辨率的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 获取 多维 物性 扫描 探针 显微 成像 方法 装置 | ||
【主权项】：
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