[发明专利]一种P型双面PERC太阳电池及其制备方法和应用

摘要

本发明公开了一种P型双面PERC太阳电池及其制备方法和应用，方法包括如：去损‑背面硼扩散‑背面沉积保护膜‑正面制绒‑去除背面保护膜‑双面沉积超薄氧化硅层‑正面沉积多晶硅层‑高温磷扩散掺杂硅片正面的多晶硅层‑正面沉积氮化硅减反射层‑背面沉积氧化铝层和氮化硅薄膜层‑丝网印刷银浆并烧结。本发明先多晶硅沉积，然后高温磷扩散扩散注入，这样既可以将N型掺杂多晶硅与衬底P型硅形成PN结，还可以对正面硅进行全区域钝化，有效降低载流子复合，提高开路电压和短路电流，从而提升太阳电池的转换效率；同时，通过引入钝化接触多晶硅薄膜不仅可以实现PN发射结、很好地对正面进行钝化，同时还可以将硅片与金属银浆烧结形成很好的欧姆接触。