[发明专利]一种热电薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 202110384966.X | 申请日： | 2021-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN113285011A | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 郑壮豪;范平;敖冬威;魏萌;李甫;陈跃星;梁广兴;陈烁 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | H01L35/34 | 分类号： | H01L35/34;H01L35/16 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 徐凯凯 |
| 地址： | 518061 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种热电薄膜的制备方法，其包括步骤：在第一衬底上制备硫族单质薄膜；在第二衬底上制备金属薄膜，所述金属为铋、锡和锑中的一种或多种；将所述硫族单质薄膜与所述金属薄膜叠加，得到叠加膜层；在真空或惰性气氛下对所述叠加膜层进行加热处理，制得所述热电薄膜。本发明提供的热电薄膜制备方法简单方便，其可与多种方法结合制备薄膜，且无需制备复合靶材或者复合粉末，极大简化了热电薄膜制备流程，制备成本低，更容易实现产业化推广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 热电 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
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