[发明专利]一种具有空腔的传感器在审
| 申请号： | 202110385040.2 | 申请日： | 2021-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN113517235A | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 曾钰芬;黄家彬;廖育萱;蔡群贤;李庭鹃;蔡群荣 | 申请（专利权）人： | 伊诺司生技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/13 | 分类号： | H01L23/13 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 王侠 |
| 地址： | 中国台湾新北市新*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种具有空腔的传感器，包含一基板、一腔体、一感测元件及一多孔凝胶材料，该腔体设置于该基板上且具有一腔壁以及形成于该腔壁内的一内部空间，该感测元件设置于该腔壁上，并且该多孔凝胶材料设置于该基板和该腔体之间，其中，该多孔凝胶材料具有不低于80％的孔隙率，使该腔体的该内部空间和外界形成气体连通，由此形成气体进出的通道、以平衡该具有空腔的传感器内的压力，并增加该具有空腔的传感器的支撑性，降低通常使用固晶胶结合感测元件与基板之间的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 空腔 传感器 | ||
【主权项】：
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