[发明专利]一种基于SPR传感装置的真空全压力测量方法在审
申请号: | 202110386437.3 | 申请日: | 2021-04-12 |
公开(公告)号: | CN113108984A | 公开(公告)日: | 2021-07-13 |
发明(设计)人: | 杨志韬;汪世杰 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨理工大学 |
主分类号: | G01L21/00 | 分类号: | G01L21/00;G01N21/59 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 150080 黑龙江省哈*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: |
本发明公开了一种真空全压力测量方法,涉及真空全压力测量和SPR传感特性技术领域,所述方法以克劳休斯‑莫索缔方程为出发点,结合气态方程得出干空气的真空度P与相对介电常数ε |
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搜索关键词: | 一种 基于 spr 传感 装置 真空 压力 测量方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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