[发明专利]一种超大角度电磁驱动微镜有效
| 申请号： | 202110388029.1 | 申请日： | 2021-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN112904553B | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 程进;徐乃涛;孙其梁;李宋泽;隋明达 | 申请（专利权）人： | 无锡微视传感科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 聂启新 |
| 地址： | 213400 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超大角度电磁驱动微镜，涉及微机电系统技术领域，包括微镜以及设于微镜两侧的新型磁体结构、驱动线圈和锚点，微镜通过两个对称的扭转梁分别连接锚点的一侧，锚点的另一侧通过扭转梁连接微镜的硅基板，锚点用于固定微镜；驱动线圈设置在微镜两侧的硅基板上，每侧的新型磁体结构围绕驱动线圈设置，用于产生与驱动线圈运动轨迹相切的辐射状磁场；驱动线圈外接电源时，使作用于硅基板上的扭转力矩方向相同，微镜通过硅基板传递的扭转力矩以扭转梁为轴发生偏转。该结构能够在小电流下得到更大的偏转角度，减低了功率；且偏转时磁场强度不变，驱动线圈的电磁力只沿扭转力矩方向，并与驱动电流呈线性关系，可控性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超大 角度 电磁 驱动 | ||
【主权项】：
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