[发明专利]利用钝化层负电化抑制侧壁漏电流的探测器的制备方法

摘要

本发明公开了一种利用钝化层负电化抑制侧壁漏电流的探测器的制备方法，该制备方法包括：提供一红外材料，红外材料上形成有台面掩膜；采用电感耦合等离子体法刻蚀红外材料；采用干法刻蚀或湿法腐蚀去除台面掩膜，以形成带有台面结构的红外材料；在带有台面结构的红外材料上淀积电介质薄膜，以形成带有台面结构的钝化层；根据带有台面结构的钝化层的台面侧壁的厚度，对带有台面结构的钝化层进行元素掺杂；对带有台面结构的钝化层进行元素掺杂后，进行快速热退火处理，得到利用钝化层负电化抑制侧壁漏电流的探测器。