[发明专利]一种液体环境下的微型机器人推进装置

摘要

本发明涉及微型机器人领域，具体涉及一种液体环境下的微型机器人推进装置，包括：压电薄膜、插指电极、声能反射栅、基底，其中：基底上表面具有偏心设置的向下的凹部形成的凹槽；压电薄膜位于基底上方设置，且覆盖基底，压电薄膜位于凹槽的部分具有条形孔，条形孔与凹槽连通，使得位于凹槽上方的压电薄膜与凹槽形成开放性腔体，构成谐振腔；插指电极布设于压电薄膜表面，插指电极与条形孔平行设置；声能反射栅布设于压电薄膜表面，且位于插指电极的远离条形孔的一侧，声能反射栅与条形孔平行设置。本发明装置结构可靠、体积微小、能够实现晶圆级批量生产。