[发明专利]一种太阳能电池叠层钝化结构及其制备方法在审
| 申请号： | 202110396613.1 | 申请日： | 2021-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN112838132A | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 张学玲;柳伟;陈红;简磊;陈奕峰 | 申请（专利权）人： | 天合光能股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/0216 | 分类号： | H01L31/0216;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋 |
| 地址： | 213031 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种太阳能电池叠层钝化结构及其制备方法。所述太阳能电池叠层钝化结构包括P型硅衬底，以及在所述的P型硅衬底背面从里到外依次设置的第一介电层、第二介电层、第三介电层和第四介电层。所述制备方法包括：在P型硅衬底背面生成第一介电层，再在所述第一介电层上依次沉积第二介电层、第三介电层和第四介电层。本发明提供的太阳能电池背面叠层钝化结构含有丰富的氢离子或原子，具有非常好的化学钝化及场钝化效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 钝化 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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