[发明专利]薄膜晶体管阵列基板及其制作方法

摘要

一种薄膜晶体管阵列基板及其制作方法，包括：在金属氧化物薄膜上形成第一光阻层，并对第一光阻层进行曝光、显影，以在栅极的上方保留第一光阻层而形成第一光阻部，其余位置的第一光阻层被去除；在金属氧化物薄膜上形成覆盖第一光阻部的第二金属层；在第二金属层上形成第二光阻层，并对第二光阻层进行曝光、显影，形成相互间隔开的第二光阻部和第三光阻部，其中第二光阻部和第三光阻部之间间隔形成一开口；利用第二光阻部和第三光阻部作为遮罩，对第二金属层和金属氧化物薄膜进行刻蚀，第二金属层在刻蚀之后形成相互间隔的源极和漏极，金属氧化物薄膜在刻蚀之后形成金属氧化物有源层；去除第一光阻部、第二光阻部和第三光阻部。