[发明专利]光学位移传感器有效
| 申请号： | 202110399883.8 | 申请日： | 2021-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN113532279B | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 木村彰秀 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 贺紫秋 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种光学位移传感器，该光学位移传感器能够以高精度检测待测量对象的位移量，同时使得辐射到光接收单元中的复合光中的重叠量稳定。光学位移传感器(1)包括：分割单元(20)，其将从光源(3)辐射的光分割为第一光线和第二光线；以及折返反射单元，其将已经穿过反射单元(5)的光折返并反射至反射单元(5)。光学位移传感器的特征在于，反射单元(5)将由分割单元(20)分割并已经穿过衍射单元(2)的第一光线和第二光线从第一反射部分(51)反射到第二反射部分(52)，并且将由折返反射单元(6)反射的第一光线和第二光线从第二反射部分(52)反射至第一反射部分(51)。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 位移 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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