[发明专利]有机发光显示器件的阵列基板及其制备方法

摘要

本申请实施例公开了一种有机发光显示器件的阵列基板及其制备方法，包括衬底层、第一绝缘层、第一金属层、层间绝缘层、第二金属层和第二绝缘层。其中，第一金属层包括第一金属子层和第二金属子层。第一金属子层化学性质稳定，具备耐聚酰亚胺和反射金属蚀刻液腐蚀以及耐高温的特性，且导电性能良好。第二金属子层靠近第一绝缘层的一面具备良好的粘附性，不会产生膜层相互剥离的现象，且导电性能良好。因此，采用第一金属层来作为搭接金属，可以将外部信号经第二金属层传入阵列基板内部。而且第一金属层是通过一道光罩制程形成位于薄膜晶体管区的第一部分和位于焊盘区的第二部分，从而可以节省一道光罩，达到降低成本的效果。