[发明专利]一种真空脱脂烧结系统及其使用方法

摘要

本发明公开了一种真空脱脂烧结系统及其使用方法,包括真空管路和脱脂机构，真空管路至少包括一级真空管路、二级真空管路和三级真空管路，一级真空管路、二级真空管路和三级真空管路控制不同工艺阶段的系统压力，脱脂机构对工件进行脱脂处理，本发明采用高真空气动挡板阀作为各回路的开关阀，采用旋片泵获得系统低真空1‑10Pa，满足脱脂工艺要求和油扩散泵的启动要求，采用罗茨泵作为系统二级泵，是油扩散泵的前级泵，通过旋片泵与罗茨泵的组合运行，系统获得压力值为10‑1‑10‑2Pa的真空，采用油扩散泵作为系统主泵，通过旋片泵、罗茨泵及油扩散泵的组合运行，系统获得压力值为10‑3‑10‑4Pa的真空。