[发明专利]二氧化锡氧化物薄膜及制备方法与其在检测氢气中的应用有效
| 申请号： | 202110402049.X | 申请日： | 2021-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN113136547B | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 宋安刚;朱地;赵保峰;关海滨;徐丹;王树元 | 申请（专利权）人： | 山东省科学院能源研究所 |
| 主分类号： | G01N27/414 | 分类号： | G01N27/414 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 王磊 |
| 地址： | 250014 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了二氧化锡氧化物薄膜及制备方法与其在检测氢气中的应用，二氧化锡氧化物薄膜，晶相结构为金红石相结构，室温条件下，通入氢气前的电阻为80～100Ω，通入氢气后的电阻为50～70Ω。其制备方法为：利用远源等离子体溅射将锡制成沉积态二氧化锡薄膜，然后进行退火处理获得金红石相二氧化锡薄膜，获得的金红石相二氧化锡薄膜即为目标的二氧化锡氧化物薄膜。本发明提供的二氧化锡氧化物薄膜在室温下可以对氢气具有良好的气敏性能。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化 氧化物 薄膜 制备 方法 与其 检测 氢气 中的 应用 | ||
【主权项】：
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