[发明专利]晶圆烘干槽、晶圆烘干方法和晶圆烘干装置在审
| 申请号： | 202110402817.1 | 申请日： | 2021-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN113063272A | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 左国军;陈雷;成旭;李雄朋;申斌;谈丽文;邱瑞;饶相松 | 申请（专利权）人： | 创微微电子（常州）有限公司;常州捷佳创精密机械有限公司 |
| 主分类号： | F26B9/06 | 分类号： | F26B9/06;F26B21/00;F26B21/14 |
| 代理公司： | 北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) 11343 | 代理人： | 尚志峰;汪海屏 |
| 地址： | 213133 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请涉及晶圆烘干设备技术领域，提供了一种晶圆烘干槽、晶圆烘干方法和晶圆烘干装置，用于对晶圆进行烘干。晶圆烘干槽包括：槽体；管道系统，管道系统用于朝向槽体内的不同方向通入气体，以在槽体内交汇形成混合气流场。本申请将多个晶圆置于槽体内，通过管道系统从多个方向朝向槽体内通入气体，可以在槽体内形成混合气流场，混合气流场是流动的，因此，在槽体内形成的烘干区域能够覆盖整个晶圆尺寸范围，以保证晶圆表面的洁净度。 | ||
| 搜索关键词： | 烘干 方法 装置 | ||
【主权项】：
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