[发明专利]一种用于微纳沟槽和盲孔填充的电镀钌镀液及配制方法有效
| 申请号： | 202110402994.X | 申请日： | 2021-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN113106507B | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 王翀;周柘宁;周国云;王守绪;何为;洪延;陈苑明;孙玉凯;陈德福;苏新虹;金立奎 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学;珠海方正科技高密电子有限公司 |
| 主分类号： | C25D3/52 | 分类号： | C25D3/52;H05K3/42 |
| 代理公司： | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232 | 代理人： | 霍淑利 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种用于微纳沟槽和盲孔填充的电镀钌镀液，属于电子制造技术领域。本发明所提出的一种用于微纳沟槽和盲孔填充的电镀钌镀液中各组分及电镀条件如下：基础电镀液(以钌含量计)2‑10g/L；添加剂A 1‑100mL/L；添加剂B 1‑100mL/L；pH 0.5‑3；电流密度0.1‑2A/dm |
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| 搜索关键词： | 一种 用于 沟槽 填充 电镀 钌镀液 配制 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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