[发明专利]粒子束装置及其真空室的通气抽空方法、计算机程序产品在审
| 申请号： | 202110403013.3 | 申请日： | 2021-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN113555266A | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | E.海因德尔 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/18 | 分类号： | H01J37/18;H01J37/26;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于对粒子束装置的真空室进行通气和抽空的方法。本发明进一步涉及一种计算机程序产品和一种用于执行该方法的粒子束装置。该方法包括以下步骤：关闭第一真空泵的进气阀，关闭该第一真空泵的出气阀，在泵送操作中操作该第一真空泵，关闭布置在该真空室与另外的真空室之间的分离阀，通过打开流动连接至该真空室的通气设备来对该真空室进行通气，打开第二真空泵的进气阀，使用该第二真空泵对该真空室进行抽空，打开该第一真空泵的出气阀，打开该第一真空泵的进气阀以及使用该第一真空泵对该真空室进行抽空。 | ||
| 搜索关键词： | 粒子束 装置 及其 真空 通气 抽空 方法 计算机 程序 产品 | ||
【主权项】：
暂无信息
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