[发明专利]一种具有良好抗冲击性能的冗余双环式微机械陀螺结构

摘要

本发明具体是一种具有良好抗冲击性能的冗余双环式微机械陀螺结构。解决了现有微机械振动陀螺抗冲击性能差以及输出信号受冲击影响大的问题。一种具有良好抗冲击性能的冗余双环式微机械陀螺结构，包括玻璃基底、谐振子部分、电极部分；所述谐振子部分包括圆环状内层谐振质量、圆环状外层谐振质量、八个块状锚点、八根轮辐状内侧弹性支撑悬梁、八根轮辐状外侧弹性支撑悬梁；所述电极部分包括四个弧形内层驱动模态位移测量电极、四个弧形外层驱动模态位移测量电极、四个弧形内层检测模态位移测量电极、四个弧形外层检测模态位移测量电极、八对弧形内层控制电极、八对弧形外层控制电极。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。