[发明专利]可实时精准监测温度和射频特性的功率器件及其封装方法在审

专利信息
申请号: 202110405372.2 申请日: 2021-04-15
公开(公告)号: CN113140527A 公开(公告)日: 2021-07-20
发明(设计)人: 王琮;魏宇琛;谭笑 申请(专利权)人: 哈尔滨工业大学
主分类号: H01L23/34 分类号: H01L23/34;H01L29/772;H01L21/50;G01K7/18;G01R31/26
代理公司: 哈尔滨华夏松花江知识产权代理有限公司 23213 代理人: 侯静
地址: 150001 黑龙*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要: 可实时精准监测温度和射频特性的功率器件及其封装方法,本发明要解决现有集成高功率功率器件难以监测温度和射频特性的问题。本发明可实时监测温度和射频特性的功率器件包括至少一个功率晶体管、PAD和温度/射频特性检测部,由单个功率晶体管或多个功率晶体管并联连接形成功率部件,PAD与功率部件间隔设置,温度/射频特性检测部的一端与PAD相连,温度/射频特性检测部的另一端接地或者与功率晶体管的源极相连。本发明从晶圆级分析:用引线将功率三极管的结温传输到芯片外部,即可检测芯片的结温;从封装级分析:在封装散热板上贴装芯片粘接薄膜以及完成薄膜电阻的对外连接,可精准监控封装后功率晶体管的发热情况。
搜索关键词: 实时 精准 监测 温度 射频 特性 功率 器件 及其 封装 方法
【主权项】:
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