[发明专利]一种蒸镀产线的挡板机构有效
| 申请号： | 202110407278.0 | 申请日： | 2021-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN113106412B | 公开（公告）日： | 2023-06-13 |
| 发明（设计）人： | 黄稳;廖良生;赵平;赵鹏鹏;胡淳;高永喜;顾婉莹;张敬娣;武启飞 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 李柏柏 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸镀产线的挡板机构，蒸镀产线包括多个蒸镀腔和流转卡夹，蒸镀腔内设置有蒸发组件及蒸镀通道，流转卡夹承载基片依次经过蒸镀通道上方进行蒸镀工作，挡板机构包括多个挡板组件，挡板组件对应所述蒸镀通道设置，所述挡板组件动态遮挡其所对应的所述蒸镀通道形成工作通道，所述工作通道与所述基片在蒸镀通道的暴露部分相匹配。本发明通过挡板组件形成工作通道，防止蒸镀腔中的蒸发源泄露出去，本发明可以有效的阻止在蒸镀的过程中材料从一个功能腔体到另一个功能腔体去，造成交叉污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸镀产线 挡板 机构 | ||
【主权项】：
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