[发明专利]基板用通电装置在审
| 申请号： | 202110408065.X | 申请日： | 2021-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN113543432A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 白承大;金成和;金进愿 | 申请（专利权）人： | 杰宜斯科技有限公司 |
| 主分类号： | H05F3/02 | 分类号： | H05F3/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 梁小龙 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及基板用通电装置，本发明包括：多个移送部，对基板进行移送并与所述基板通电，多个所述移送部能够接地；等候部，配置于相邻的所述移送部之间并与所述基板通电，所述等候部能够接地；以及处理部，对通过所述移送部投入的所述基板进行处理并与所述基板通电，所述处理部能够接地，本发明可通过在基板处理过程中迅速消除在基板产生的静电来防止基板不良。 | ||
| 搜索关键词： | 基板用 通电 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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