[发明专利]一种ZnO纳米线敏感材料制备方法及其应用

摘要

一种ZnO纳米线敏感材料制备方法及其应用，涉及一种敏感材料制备方法及其应用，该方法以原料易得的高纯锌粒为锌源，通过简单的热蒸发技术路线，在硅基板表面生长高质量的ZnO纳米线，整个生产过程操作简单、重复性好、原料易得，产品纯度高、结晶性良好，适合工业化生产，整个生产过程无任何有害添加剂和溶剂的使用。所制得的ZnO纳米线阵列直径约为50‑200 nm，纳米线长度超过10µm。这种ZnO纳米线因具有高长径比、高比表面积以及不易发生团聚的特点，不仅有利于目标气体的吸附与解吸，而且具有良好的表面渗透性，加速了气体的快速传输和扩散，从而获得了良好的对H2S气体的检测特性。特别适合应用于批量生产高质量ZnO气体传感器。